Машина за механичко полирање серије МП
ЛСТД МП серија механичких машина за полирање је развијена да испуни захтеве брзог полирања супер тврдих материјала. Опрема користи меку металну плочу или композитну плочу и дијамантску суспензију са специфичном величином честица, што може учинити да обрађени радни предмет брзо достигне површину огледала. Још једна значајна предност механичког полирања је да под претпоставком добре контроле облика плоче, може да добије веома равну површину радног комада без скоро да се ивице сломе. За радни предмет (вафер) са епитаксијалном применом, након механичког полирања, време процеса хемијског механичког полирања може се знатно скратити, а трошкови смањити. Машина за хемијско механичко полирање МП серије може се користити за механичко полирање различитих супер тврдих полупроводничких плочица као што су сафир, силицијум карбид и дијамант, као и за полирање других супер тврдих материјала као што су керамика, цементни карбид и каљени челик.
Попут машина за хемијско механичко полирање серије ЦП:
Машине за механичко полирање серије МП су такође подељене у три иста модела: основни тип, тип диска са централним погоном (ЦД тип) и независни погонски тип (тип ИДП) (погледајте страну 4; машине за механичко полирање серије МП имају сличну структуру као ЦП серије машина за хемијско механичко полирање, али како би се задовољиле потребе механичког полирања, машине за механичко полирање серије МП опремљене су системом за окретање плоча за полирање за жлебове плоча.
Механичка машина за полирање типа ИДП:
Машина за механичко полирање типа ИДП такође може додатно побољшати прецизност механичког полирања интегришући функцију замаха потисне плоче; Да би се решили проблеми деформације експанзије и смањења тврдоће плоче за полирање узроковане загревањем изазваним механичким полирањем, ЛСТД је развио нову технологију и пријавио се за патент који може ефикасно контролисати температуру површине плоче, облик плоче и тврдоћу плоче; За механичко полирање полупроводничких материјала треће генерације као што су силицијум карбид, дијамант и друге плочице, ова технологија може ефикасно да реши проблеме ефикасности и тачности механичког полирања.
БАСИЦ ТИПЕ МП серија механичких машина за полирање
Тип и спецификација | МП-380Б(В*) | МП-460Б(В) | МП-610Б(В) | МП-810Б(В) | МП-910Б(В) | МП-1280Б(В) | МП-1500Б(В) |
Пречник плоче за полирање | 381мм | 460мм | 598мм | 796мм | 898мм | 1262мм | 1480мм |
Пречник потисне плоче | 139мм | 150мм | 240мм | 304.8мм | 360мм/355мм | 485мм | 576мм |
бр. потисне плоче | 3 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 |
Плоча за полирање РПМ | 10~160рпм | 10~160рпм | 10~115рпм | 10~87рпм | 10-80о/мин | 10~64рпм | 10-54о/мин |
Притисак полирања (макс.) | 100кг | 100кг | 140кг | 250кг | 320кг | 560кг | 760кг |
Снага мотора | 0.75кв | 1.5кв | 3кв | 5.5КВ | 11кв | 22кв | 35кв |
Напајање | 3ПХ,380В,50Хз | ||||||
Димензија | 1250L 770W 1560H | 1360L 850W 1650H | 1550L 900W 1700H | 1980L 920W 1900H | 2100L 1262W 2120H | 2550L 1670W 2200H | 3500L 2020W 2500H |
Тежина (приближно..) | 420кг | 720кг | 1080кг | 2200кг | 2400кг | 7300кг | 9500кг |
Капацитет утовара вафла | 2"-4ком/гл 2"-3ком/глава(В) | 2"-5ком/гл 2"-4ком/глава(В) | 2"-10ком/гл 4"-3ком/гл | 2"-14ком/гл 4"-5ком/гл 5"-3ком/гл | 4"-7ком/гл 5"-5ком/гл 6"-3ком/гл | 5"-8ком/гл 6"-6ком/гл 8"-3ком/гл | 6"-8ком/гл 8"-5ком/гл |
ЦД ТИПЕ МП серија механичка машина за полирање
Тип и спецификација | МП{0}}Б-ЦД | МП{0}}Б-ЦД | МП{0}}Б-ЦД | МП{0}}Б-ЦД |
Пречник плоче за полирање | 381мм | 460мм | 598мм | 796мм |
Пречник потисне плоче | 139мм | 150мм | 240мм | 304.8мм |
бр. потисне плоче | 3 | 4 | 4 | 4 |
Плоча за полирање РПМ | 10~160рпм | 10~160рпм | 10~115рпм | 10~87рпм |
Притисак полирања (макс.) | 100кг | 100кг | 140кг | 250кг |
Снага мотора са централним погоном | 400W | 750КВ | 1КВ | 1.5КВ |
Снага главног мотора | 0.75кв | 1.5КВ | 3кв | 5.5КВ |
Напајање | 3ПХ,380В,50Хз | |||
Димензија | 1250L 770W 1560H | 1360L 850W 1650H | 1550L 900W 1700H | 1980L 920W 1900H |
Тежина (приближно..) | 420кг | 720кг | 1080кг | 2200кг |
Капацитет утовара вафла | 2"-4ком/гл | 2"-5ком/гл | 2"-10ком/гл 4"-3ком/гл | 2"-14ком/гл 4"-5ком/гл 5"-3ком/гл |
Тип и спецификација | МП{0}}Б-ЦД | МП{0}}Б-ЦД | МП{0}}Б-ЦД |
Пречник плоче за полирање | 898мм | 1262мм | 1480мм |
Пречник потисне плоче | 360 мм / 355 мм | 485мм | 576мм |
бр. потисне плоче | 4 | 4 | 4 |
Плоча за полирање РПМ | 10-80о/мин | 10~64рпм | 10-54о/мин |
Притисак полирања (макс.) | 320кг | 560кг | 760кг |
Снага мотора са централним погоном | 2КВ | 3.5КВ | 5.5КВ |
Снага главног мотора | 11кв | 22кв | 35кв |
Напајање | 3ПХ,380В,50Хз | ||
Димензија | 2100L 1262W 2120H | 2550L 1670W 2200H | 3500L 2020W 2500H |
Тежина (приближно..) | 2400кг | 7300кг | 9500кг |
Капацитет утовара вафла | 4"-7ком/гл 5"-5ком/гл 6"-3ком/гл | 5"-8ком/гл 6"-6ком/гл 8"-3ком/гл | 6"-8ком/гл 8"5 ком/глава |
ИДП ТИПЕ МП серија механичка машина за полирање
Тип и спецификација | МП-380Б-ИДП | МП-460Б-ИДП | МП-610Б-ИДП | МП-810Б-ИДП |
Пречник плоче за полирање | 381мм | 460мм | 598мм | 796мм |
Пречник потисне плоче | 139мм | 150мм | 240мм | 304.8мм |
бр. потисне плоче | 3 | 3 | 4 | 4 |
Плоча за полирање РПМ | 10~160рпм | 10~160рпм | 10~115рпм | 10~87рпм |
Притисак полирања (макс.) | 100кг | 100кг | 140кг | 250кг |
Погон потисне плоче Снага мотора | 200W | 200W | 400КВ | 400КВ |
Брзина ротације потисне плоче | 0~200 о/мин | 0~200 о/мин | 0~100 о/мин | 0~100 о/мин |
Снага главног мотора | 0.75кв | 1.5кв | 3кв | 5.5КВ |
Напајање | 3ПХ,380В,50Хз | |||
Димензија | 950L 770W 1560H | 1100L 850W 1650H | 1350L 900W 1700H | 1600L 920W 1900H |
Тежина (приближно..) | 350кг | 350кг | 980кг | 1800кг |
Капацитет утовара вафла | 2"-4ком/гл | 2"-4ком/гл | 2"-10ком/гл 4"-3ком/гл | 2"-14ком/гл 4"-5ком/гл 5"-3ком/гл |
Тип и спецификација | МП-910Б-ИДП | МП-1280Б-ИДП | МП-1500Б-ИДП |
Пречник плоче за полирање | 898мм | 1262мм | 1480мм |
Пречник потисне плоче | 360 мм / 355 мм | 485мм | 576мм |
бр. потисне плоче | 4 | 4 | 4 |
Плоча за полирање РПМ | 10-80о/мин | 10~64рпм | 10-54о/мин |
Притисак полирања (макс.) | 320кг | 560кг | 760кг |
Погон потисне плоче Снага мотора | 2КВ | 1КВ | 1.3КВ |
Брзина ротације потисне плоче | 2КВ | 0~100 о/мин | 0~100 о/мин |
Снага главног мотора | 11кв | 22кв | 35кв |
Напајање | 3ПХ,380В,50Хз | ||
Димензија | 1800L 1262W 2120H | 2180L 1670W 2200H | 2800L 2020W 2500H |
Тежина (приближно..) | 2200кг | 7000кг | 8600 кг |
Капацитет утовара вафла | 4"-7ком/гл 5"-5ком/гл 6"-3ком/гл | 5"-8ком/гл 6"-6ком/гл 8"-3ком/гл | 6"-8ком/гл 8"5 ком/глава |
Popularne oznake: мп серија машина за механичко полирање, Кина мп серија механичких машина за полирање произвођачи, добављачи, фабрика
Par
neSledeći
neМожда ти се такође свиђа
Pošalji upit